內(nèi)蒙古儀誠科學實驗室設備有限公司.png)
使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡單”的臺式
高性能型號，調(diào)取數(shù)據(jù)簡單，以電子材料為中心，可對應
多種用途。
●可變更電極構(gòu)造提高等離子效果。
●搭載高精度適配器，高性能RF電源。
●可根據(jù)需求規(guī)格提供定制。
特征
●硅晶圓的灰化及蝕刻
●基板表面污垢處理
●IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理
●半導體相關部品的電子材料的干式清洗
●自然氧化膜·有機物去除
●界面活性處理
●表面污染物去除
日本雅馬拓YAMATO等離子清洗機V1000XS
雅馬拓產(chǎn)品報價：0.00
13.56MHz 高頻輸出的等離子清洗機，搭載RIE·DP 雙模式。
| 屬性 | 參數(shù) |
| 等離子模式 | DP/RIE |
| 高頻電源 | 13.56MHz |
| 輸出功率 | Max1000 & 1500W |
| 有效電極尺寸 | W400×D375mm |
| 電極 | 平板（多目的） |
| 反應氣體 | 聚合控制器2系統(tǒng)（填充氣路另行安裝） |
| 真空泵（標配） | 1000 & 1500L/min |
| 安全裝置 | 門檢測開關、聯(lián)鎖機構(gòu)、緊急停止開關、溫度過升防止器等 |
榮譽資質(zhì)
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艾本德授權(quán)代理商 —— 內(nèi)蒙儀誠科學
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奧豪斯-內(nèi)蒙儀誠科學 
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上海博迅授權(quán)代理 —— 內(nèi)蒙儀誠科學 
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上海知信-內(nèi)蒙儀誠科學 
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愛拓-內(nèi)蒙儀誠科學 
公司動態(tài)
促銷信息
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